FPD曝光设备「FX-88SL/SLD」

贝斯特官网株式会社颁发，，
，将于2025年11月起头接受全新FPD（平板显示器）曝光设备“FX-88SL”和“FX-88SLD” ^※1的订单。这两款设备是业内首批选取UV-LED（紫外线LED）光源^※2的产品，，
，合用于第8代（2,290mm × 2,620mm）玻璃基板，，
，兼具高分辨率
、、、逾越产效能和低环境负荷等优势。

发售信息

商品名	FPD曝光设备「FX-88SL」 、、、FPD曝光「FX-88SLD」
接受订单功夫	2025年11月
上市功夫	2026年4月

开颁布景

随着智能设备和大型高端显示器等高精密面板需要的持续增长，，
，面板制作行业对逾越产效能与低能耗的需要日益火急。针对这一趋向，，
，贝斯特官网率先开发出选取UV-LED光源的FPD曝光设备。UV-LED光源不仅具备高照度，，
，可能提升出产效能，，
，还实现了节能降耗和运行成本的有效降低。此外，，
，该光源不含汞元素，，
，进一步削减了对环境的影响。贝斯特官网将持续致力于降低环境负荷，，
，积极助力可持续社会的实现，，
，并不休推进自身的持续发展。

FPD曝光设备“FX-88SL”“FX-88SLD”所对应的市场

重要特点

1.两全高分辨率与逾越产效能

凭借高精度对焦补正系统，，
，实现整块基板上的优异线宽均一性，，
，并可通过4次扫描高效实现第8代大尺寸基板的全面曝光。建设相当于i线光源UV-LED“FX-88SL”分辨率高达1.5μm^※3 L/S^※4，，
，单片基板的加工功夫较上一代“FX-88S”缩短17%，，
，实现了每片39秒^※5的高效出产。此外，，
，搭载UV-LED双波长^※6光源的“FX-88SLD”则进一步提升了对高照度要求工艺的出产效能。

※3 1μm（微米）等于百万分之一米（千分之一毫米）
※4 L/S为Line and Space的缩写，，
，指布线宽度及其相邻间距
※5 以2,290mm × 2,620mm基板
、、、4次扫描
、、、i线
、、、30 mJ/cm?前提下测得
※6 相当于i线和h线

2. 实现±0.3μm的高重合精度

新一代设备通过先进的对准技术，，
，实现了±0.3μm的重合精度。选取贝斯特官网独有的多镜组系统^※7，，
，对每个镜头进行精密节制，，
，即便在大型玻璃基板因变形或应力产生误差的情况下，，
，也能确保极高的对位精度，，
，有效提升量产过程中的产品良率。

※7 贝斯特官网FPD曝光设备的独有技术。通过并列并精密节制多个投影镜头，，
，实现如同使用一个大型镜头般的曝光成效，，
，从而可能在一次曝光中对更大面积进行图案化处置。

3. 选取UV-LED光源，，
，两全高机能与环保

本系列产品选取了低能耗
、、、无汞的UV-LED光源，，
，在大幅提升曝光亮度和出产效能的同时，，
，有效降低了运行成本。此外，，
，贝斯特官网还成立了UV-LED光源部件的回收机制，，
，积极践行可持续发展理念，，
，助力构建环保的社会。

重要机能

	FX-88SL	FX-88SLD
分辨率	1.5 ?m L/S 1.8 ?m C/H	2.5 ?m L/S 2.5 ?m C/H
光源	波长相当于i线的UV-LED	波长相当于i线和h线的UV-LED
投影倍率	1 : 1
重合精度	≦±0.30 ?m
尺寸	2,290 mm ｘ 2,620 mm
节拍	39s / plate （前提）2,290 mm × 2,620 mm 、、、4次扫描 、、、i-line 、、、30 mJ/cm2	39s / plate （前提）2,290 mm × 2,620 mm 、、、4次扫描 、、、i-line+h-line 、、、30 mJ/cm2